Caucho de perfluoroéter (FFKM)Es un excelente material de sellado. Debido a su rendimiento superior, se ha utilizado ampliamente en todo el sistema de fabricación de semiconductores. Uno de los principales consumibles necesarios para la producción de circuitos integrados son los anillos de sellado de perfluoroéter.
Los principales monómeros del caucho de perfluoroéter son el tetrafluoroetileno y el perfluoroalquilviniléter, que están copolimerizados con una pequeña cantidad de terceros monómeros con puntos de vulcanización. Es un caucho que no contiene ningún enlace CH. El contenido de flúor de su estructura molecular, la estructura y el contenido de éter vinílico perfluorado y la energía de enlace y la cantidad de enlaces cruzados en el proceso de vulcanización influyen en el rendimiento del compuesto vulcanizado y en la temperatura de transición vítrea. La estructura y los componentes son diferentes, al igual que su rendimiento. Las siguientes son las principales características de rendimiento del caucho de perfluoroéter:
1) Propiedades físicas: la densidad es 1,9-2.0g/cm3, las propiedades físicas y mecánicas son similares a las del caucho fluorado y la deformación por compresión a alta temperatura es superior a la del caucho fluorado.
2) Resistencia química: Es químicamente resistente.
3) Resistencia a altas y bajas temperaturas: la temperatura de funcionamiento suele ser de 260 a 290 grados, pero se puede utilizar de forma intermitente a 316 grados. La Tg (temperatura de transición vítrea) de algunos cauchos de perfluoroéter es de -19 grados.
4) Resistencia al vapor a alta temperatura.
5) Bajas precipitaciones y liberaciones.
6) Resistencia al plasma.
Tiene características de alta limpieza y baja precipitación de productos en el entorno del plasma, y puede resistir el impacto del plasma durante mucho tiempo.La confiabilidad de las juntas de elastómero es fundamental en la fabricación de semiconductores y el costo de detener la producción para reemplazar las juntas es extremadamente alto. Los requisitos de limpieza y pureza de las juntas son extremadamente estrictos para evitar riesgos potenciales. Al mismo tiempo, los sellos deben poder funcionar durante un período prolongado de tiempo bajo la presión de un alto vacío, gases químicos corrosivos y un ambiente de alta temperatura.
Las materias primas del caucho de perfluoroéter son caras y se utilizan comúnmente en la fabricación de semiconductores. Es resistente a la corrosión por plasma, corrosión por gas, corrosión ácida y alcalina, corrosión por altas temperaturas, altos requisitos de limpieza para sellos de caucho, ayuda a mantener la integridad del sello, reduce los tiempos de mantenimiento y mejora la seguridad, y es el mejor sello para la fabricación de semiconductores. Material.
